同花顺300033）金融研究中心9月21日讯，有投资者向精测电子300567）发问， 董秘您好，请问一下上海精测半导体所出产的检测机产品归于纳米级电子束缺点查验测验配备（EBI）和要害尺度量测配备（CD-SEM）大类吗？在国际上的产品竞争力怎么？
公司答复表明，您好！现阶段，上海精测的根本的产品有膜厚量测体系、光学要害尺度量测体系、电子束缺点查验测验体系、明场晶圆有图形缺点查验测验设备、大硅片应力描摹量测设备等，其间电子束产品首要归于电子束晶圆缺点复查设备（Review SEM）。感谢您对公司的重视，谢谢！
